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| 2軸（X, Y） | MF-A505B | MF-A1010B | MF-A2010B | MF-A2017B | MF-A3017B | MF-A4020B |
| 176-561DC | 176-562DC | 176-563DC | 176-564DC | 176-565DC | 176-566DC | |
| 3軸 （X, Y, Z） | MF-B505B | MF-B1010B | MF-B2010B | MF-B2017B | MF-B3017B | MF-B4020B |
| 176-581DC | 176-582DC | 176-583DC | 176-584DC | 176-585DC | 176-586DC | |
| X Y工作臺測量范圍 | 50x50mm | 100x100mm | 200x100mm | 200x170mm | 300x170mm | 400x200mm |
| Z軸行程范圍 | 150mm | 220mm | ||||
| 分辨率 | 0.001mm/0.0005mm/0.0001mm 可轉換 | |||||
| X Y測量精度（20°C） | （2.5+0.02L）μm （L = 無負載測量長度mm） | |||||
| Z測量精度（20°C） | （5+0.04L）um （L = 測量長度mm） | |||||
| 物鏡倍率 | 3X （標準件No. 375-037）可選：1X, 5X, 10X, 20X, 50X, 100X | |||||
| 目鏡倍率 | 標準:10X ;配件: 15X, 20X | |||||
| 對焦方式 | 手動（粗調10mm/rev,微調0.1mm/rev） | |||||
| 移動功能 | 帶有快速斷開機構的X Y軸 | |||||
| 工作臺尺寸 | 280×280mm | 280×280mm | 350×280mm | 410 x 342mm | 510×342mm | 610×342mm |
| 工作臺玻璃臺 | 180×180mm | 180×180mm | 250×150mm | 270x 240mm | 370x 240mm | 440x 240mm |
| 工作臺旋轉 | — | — | — | ±5° | ±5° | ±3° |
| 大被測工件高度 | 150mm | 150mm | 150mm | 220mm | 220mm | 220mm |
| 大工作臺載重量 | 15Kg | 15Kg | 15Kg | 20Kg | 20Kg | 15Kg |
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